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硅集成电路工艺基础（第二版）

硅集成电路工艺基础（第二版）

定　　价：52 元

丛书名：21世纪微电子学专业规划教材

作者：关旭东
出版时间：2014/5/1
ISBN：9787301241097
出版社：北京大学出版社

中图法分类：TN4
页码：408
纸张：胶版纸
版次：2
开本：16K

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本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材，作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺，加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。

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