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微纳制造科学与技术 
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9 7 0 8 9 7 3 5 0 6 1 8 9 读者对象:本书旨在为微纳制造领域的高年级本科生、研究生以及研究学者等提供参考与借鉴
本书共分为七章，第一章简要介绍了微纳制造科学与技术；第二章介绍了微纳尺度的物理化学原理，包括了量子效应等；第三章介绍了丰富多彩的微纳材料和结构；第四章介绍了多种多样的微纳尺度加工方法；第五章讲述了各种微纳尺度的表征技术；第六章和第七章概述了微纳制造的工程应用等。
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