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本书以集成电路领域中的等离子体刻蚀为切入点，介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。全书共8章，内容包括集成电路简介、等离子体基本原理、集成电路制造中的等离子体刻蚀工艺、集成电路封装中的等离子体刻蚀工艺、等离子体刻蚀机、等离子体测试和表征、等离子体仿真、颗粒控制和量产。本

校验级联（PCC）极化码通过引入一定数量的分散校验比特，实时校验译码信息，有效提升了中短码长下的纠错性能，成功入选5G信道编码标准。本书详细介绍了PCC极化码原理及关键技术，主要包括极化码原理、PCC极化码编码、PCC极化码译码、PCC极化码硬件实现、PCC极化码技术演进及PCC极化码应用与展望。

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本书主要围绕数字身份的价值意义、风险及治理展开。通过介绍数字身份的概念,世界各国推进数字身份的战略及实施情况,以及在政府和公共服务部门的应用方法及相关案例,来讨论数字身份的风险与挑战,进而探究数字身份及相关数字经济社会治理。本书在内容上强调相关理念及战略的发展演进和关联关系,概括相关模式与方法的逻辑脉络,基于本书提出的

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